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超纯水（Ultrapure water）又称UPW水，是指电阻率达到18MΩ.cm（25℃）以上的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除了氧和氢以外所有原子的水。
电阻率：电阻率是指某一温度下，边长为1cm正方体的相对两侧间的电阻，单位为Ω.cm或MΩ.cm。理论上纯水阻值可以达到18.25MΩ.cm（at 25℃），温度升高阻值降低。通常采用在线电阻率仪表进行测量。
电导率：和电阻率互为倒数，即10MΩ.cm=0.1µs/cm。
用于电子、半导体、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路 、精密机械行业超纯水，食品、饮料、饮用水的制备，精细化工、精尖学科用水，其他行业所需的高纯水制备，制药工业工艺用水，海水、苦咸水的淡化，制药行业用水，大输液、针剂、片剂、生化制品、设备清洗等用水，海水、苦咸水淡化，汽车、家电涂装、镀膜玻璃、化装品、精细化学品等用超纯水。
按颗粒从大到小分类：悬浮物质、胶体物质、溶解物质（离子和分子）
悬浮物质：颗粒直径约在 10^-4 mm 以上的微粒，肉眼可见，这些微粒主要是由泥沙、粘土、原生动物、藻类、细菌、病毒以及高分子有机物组成，常常悬浮在水流之中，水产生的浑浊现象也都是由此类物质所造成。悬浮物是造成浊度、色度、气味的主要来源。
胶体物质：直径在 10^-4 mm~10^-6 mm 之间的微粒，是许多分子和离子的集合物，天然水中的无机矿物质胶体主要是铁、铝和硅的化合物。胶体物质由于其单位体积所具有的表面积大，故其表面具有较大的吸咐能力。
溶解性物质：直径小于或等于 10^-6 mm 的微小颗粒。主要是于溶于水中的以低分子存在的溶解盐类的各种离子和气体。
