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EDI 部分：
1、紫外线杀菌器：紫外线是介于可视光线和X射线之间的电磁波频谱。EDI模块前采用的是254nm波长紫外灯。在这个波长范围内的紫外线主要是通过刺穿细胞膜，破坏细胞内脱氧核糖核酸和破坏细胞内的其它分子，使微生物不能再复制和繁殖，而*终达到杀菌作用。
2、EDI （电去离子）装置：将电渗析技术和离子交换技术融为一体，电去离子设备通常以反渗透(RO)纯水作为EDI 给水，通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐制取高品质超纯水。
终端部分：
1、TOC装置：185nm波长紫外线TOC灯管降解装置，设置在抛光混床之前，主要用于分解纯水中的有机物。 利用紫外射线将水中的碳水化合物的碳键打断，在足够的照射剂量照射下，绝大部分有机物被分解成CO2和H2O,水中残留TOC降至ppb级。而其它被离子化的物质，由后续工艺设备吸附净化。
2、抛光混床：抛光混床又称一次性混床一般情况用在工艺末端，用来更进一步提高产水水质，来保证系统出水水质能够维持用水标准。一般出水水质都能达到18兆欧以上，以及对TOC、SIO2都有一定的控制能力。抛光树脂出厂的离子型态都是H、OH型，装填后即可使用无需再生。一般用于半导体行业。
